漩渦高壓風(fēng)機在半導(dǎo)體設(shè)備中有哪些用途

漩渦高壓風(fēng)機在半導(dǎo)體設(shè)備中用途廣，憑借其無油運行、結(jié)構(gòu)緊湊、壓力流量可調(diào)等特性，通過負壓吸附、氣體輸送與循環(huán)等功能，有效處理光刻、刻蝕等工序產(chǎn)生的廢氣，確保工藝穩(wěn)定性與環(huán)保合規(guī)性，具體用途如下：

一、廢氣處理
負壓吸附：在光刻、刻蝕等工序中，會產(chǎn)生有機溶劑廢氣、酸性/堿性廢氣等有害氣體。漩渦高壓風(fēng)機通過進氣口形成負壓，快速吸附這些廢氣，防止其擴散污染環(huán)境或影響工藝穩(wěn)定性。例如，光刻膠曝光、顯影過程中釋放的有機溶劑廢氣（如苯、甲苯、二甲苯）具有揮發(fā)性和毒性，漩渦高壓風(fēng)機能夠?qū)⑵淇焖俪槌?，并輸送至后續(xù)處理設(shè)備（如活性炭吸附塔或催化燃燒塔）進行凈化。
氣體輸送：漩渦高壓風(fēng)機產(chǎn)生的高壓氣流從排氣口排出，可將廢氣輸送至后續(xù)處理設(shè)備，或用于攪拌廢氣與處理藥劑，提升反應(yīng)效率。例如，在高溫工藝下產(chǎn)生的氨氣、氯氣等有害氣體需快速排出，漩渦高壓風(fēng)機的高抽氣速度可確保廢氣及時被抽出真空室，維持工藝穩(wěn)定性。
二、工藝支持
維持潔凈度：半導(dǎo)體制造對潔凈度要求高，漩渦高壓風(fēng)機采用無油設(shè)計，泵腔內(nèi)無潤滑油，確保輸送的氣體不含油污，避免對晶圓或設(shè)備造成污染。同時，其產(chǎn)生的氣流可用于吹去設(shè)備內(nèi)部的微小顆粒，防止污染晶圓。
提供穩(wěn)定氣流：在蝕刻、沉積（CVD/PVD）等工藝中，漩渦高壓風(fēng)機將特種氣體（如氬氣、氮氣）以穩(wěn)定壓力和流量輸送到反應(yīng)腔體，確保工藝的穩(wěn)定性和一致性。
輔助散熱：半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部布局密集，對環(huán)境振動敏感。漩渦高壓風(fēng)機通過優(yōu)化葉輪動平衡和泵體結(jié)構(gòu)，運行噪音低、振動小，可為高功率組件（如激光器、等離子體發(fā)生器）提供強制風(fēng)冷，防止過熱影響精度。
三、其他用途
局部真空生成：漩渦高壓風(fēng)機可配合真空泵系統(tǒng)，快速排除廢氣或維持局部低壓環(huán)境，滿足特定工藝需求。
晶圓搬運：部分自動化系統(tǒng)利用氣浮技術(shù)（非接觸式搬運），依賴高壓氣流懸浮晶圓，減少搬運過程中的損傷和污染。